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          原鄭州科佳電爐
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          PECVD帶尾氣處理裝置

          產(chǎn)品型號:KJ-T1200-PECVD

          主要用途:我公司根據(jù)實驗要求設(shè)計了此設(shè)備,設(shè)備設(shè)計滿足各類薄膜研究的需求。

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          設(shè)備介紹

               等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)是一種利用輝光放電(等離子體)反應(yīng)生成含有氣態(tài)物質(zhì)的薄膜的薄膜生長技術(shù)。該系統(tǒng)由高功率射頻電源、真空系統(tǒng)、管式爐組成,配備噴淋塔、活性炭箱,滿足尾氣處理的需要。該設(shè)備是為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進行,利用了等離子體的活性來促進反應(yīng),反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化,從而大大提高了反應(yīng)物的活性,這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上,發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜。我公司根據(jù)實驗要求設(shè)計了此設(shè)備,設(shè)備設(shè)計滿足各類薄膜研究的需求。XVd高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
           XVd高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司

          產(chǎn)品優(yōu)勢

          • 成品質(zhì)量好

            PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點

          • 帶尾氣處理裝置

            配備噴淋塔、活性炭箱,離心吹掃機等尾氣處理裝置,滿足尾氣處理的需要

          • 可通保護氣氛

            法蘭上帶有進出氣旋轉(zhuǎn)接頭,可以通入氮氣、氬氣等惰性保護氣體,可在氣氛環(huán)境下使用

          • 安全防護功能

            安全防護,具有超溫保護功能,當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值后,自動報警保護功能,操作安全可靠

          • 沉積效果好

            等離子體化學(xué)活性很強,很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜

          • 智能多段PID可編程

            溫控系統(tǒng)采用PID智能化程序控溫,自整定功能并可編制多段升降溫程序

          技術(shù)參數(shù)

          產(chǎn)品名稱 PECVD
          產(chǎn)品型號 KJ-T1200-PECVD
          爐膛結(jié)構(gòu) 分體式,上部可打開,方便拿取爐管
          爐管尺寸 直徑Φ100mm,長1500mm
          (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
          加熱區(qū)長度 300mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
          爐管材質(zhì) 石英爐管
          工作溫度 ≤1100℃
          最高溫度 1200℃
          加熱元件 含鉬電阻絲
          控溫精度 ±1℃
          加熱速率  建議10℃/min,可根據(jù)實驗工藝進行調(diào)節(jié)
          溫度測試元件 N型熱電偶
          控溫系統(tǒng) 采用智能化多段PID可編程控制
          溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有 PID 調(diào)節(jié)、自整定功能并可編制多段升降溫程序;
          1、采用PID 方式調(diào)節(jié)控溫,可設(shè)置多段升降溫程序
          2、控溫精度±1ºC
          3、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷
          4、儀表具有溫度自整定的功能
          密封方式 真空法蘭的密封方式,密封效果好
          冷卻方式 空氣冷卻
          真空系統(tǒng) 擴散泵系統(tǒng):
          真空度:10 -3 Torr~10 -4 Torr。
          等離子電源系統(tǒng) 功率范圍 0-500W(連續(xù)可調(diào))
          工作頻率 13.56MHZ+0.005%
          功率穩(wěn)定度±1%
          最大反射功率 200W
          質(zhì)量流量計?
          (液晶觸摸屏)
          兩臺精密質(zhì)量流量計:
          MFC 精度為:±1.5% FS
          氮氣用 MFC 1 :氣體流量范圍為 0~500sccm
          氬氣用 MFC 2 :氣體流量范圍為 0~500sccm
          廢氣處理裝備 2套噴淋塔
          2套活性炭箱
          1臺離心吹掃
          注意事項 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
          · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,使用時會更加精確安全
          · 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)
          · 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
          · 石英管的長時間使用溫度<1100℃
          不得通入氯化物、硫化物等易腐蝕性氣體,易造成法蘭等不銹鋼件的損壞
          對于樣品加熱的實驗
          不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。
          若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)
          若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

          帶尾氣處理裝置PECVD工廠實拍圖

           

           

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          河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產(chǎn)品型號達到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。

            主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實驗電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。

          鴻爐鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!

           

           

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           2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運行。
           3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
           4、我公司技術(shù)人員可提供上門服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
           5、本公司可提供運輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進行。隨機技術(shù)資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機工具等)。 。

           

           

           

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