國(guó)內(nèi)某大學(xué)研究實(shí)驗(yàn)室的高溫爐全由我們科佳提供，現(xiàn)該實(shí)驗(yàn)室由我們公司生產(chǎn)的兩臺(tái)CVD設(shè)備，一臺(tái)PECVD設(shè)備和多臺(tái)箱式爐與管式爐.其中最近采購(gòu)的PECVD系統(tǒng)由滑動(dòng)管式爐+帶質(zhì)量流量計(jì)R 三通道氣體混合裝置+真空泵裝置+一個(gè)射頻等離子體源組成。 這種PECVD設(shè)備適用于需要快速加熱和冷卻的石墨烯生長(zhǎng)工藝和CVD實(shí)驗(yàn)。