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          原鄭州科佳電爐
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          PECVD旋轉(zhuǎn)管式爐

          產(chǎn)品型號(hào):KJ-TX1100-S50LK1

          主要用途:適用于粉體材料的表面薄膜沉積,在大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。

          在線咨詢(xún)報(bào)價(jià)聯(lián)系熱線:177-3714-9370

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          設(shè)備介紹

                PECVD旋轉(zhuǎn)管式爐系統(tǒng)適用于粉體材料的表面薄膜沉積。系統(tǒng)由高功率射頻電源(500W,13.56MHz)、真空系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)管式爐組成。該設(shè)備是為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行,利用了等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng),環(huán)境溫度在100-300℃,但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化,從而大大提高了反應(yīng)物的活性,這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上,發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜,因此這種CVD稱(chēng)為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法。PECVD淀積的薄膜具有良好的電學(xué)性能、良好的襯底附著性以及非常好的臺(tái)階覆蓋性,正由于這些優(yōu)點(diǎn)使其在大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。GSv高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
           GSv高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司

          產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

          • 成品質(zhì)量好

            PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)

          • 爐管可旋轉(zhuǎn)

            爐管采用定制變徑爐管,管壁內(nèi)帶有石英撥料臺(tái),讓物料受熱更充分。爐管360℃旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)速度可調(diào)

          • 可通保護(hù)氣氛

            法蘭上帶有進(jìn)出氣旋轉(zhuǎn)接頭,可以通入氮?dú)狻鍤獾榷栊员Wo(hù)氣體,可在氣氛環(huán)境下使用

          • 安全防護(hù)功能

            安全防護(hù),具有超溫保護(hù)功能,當(dāng)溫度超過(guò)允許設(shè)定值后,自動(dòng)報(bào)警保護(hù)功能,操作安全可靠

          • 沉積效果好

            等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜

          • 智能多段PID可編程

            溫控系統(tǒng)采用PID智能化程序控溫,自整定功能并可編制多段升降溫程序

          技術(shù)參數(shù)

          產(chǎn)品名稱(chēng) PE旋轉(zhuǎn)管式爐
          產(chǎn)品型號(hào) KJ-TX1100-S50LK1
          爐膛材料 爐膛采用氧化鋁多晶纖維
          爐管尺寸 兩端直徑約Φ30mm,中間尺寸Φ50mm 總長(zhǎng)約1200mm
          (其他尺寸可根據(jù)客戶(hù)需求定制)
          加熱區(qū) 200mm(其他尺寸可根據(jù)客戶(hù)需求定制)
          爐管材質(zhì) 石英爐管
          工作溫度 ≤1000℃
          最高溫度 1100℃
          加熱元件 合金加熱絲
          控溫精度 ±1℃
          加熱速率 建議10℃/min,可根據(jù)實(shí)驗(yàn)工藝進(jìn)行調(diào)節(jié)
          溫度測(cè)試元件 N型熱電偶
          控溫系統(tǒng) 采用智能化多段PID可編程控制
          溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有 PID 調(diào)節(jié)、自整定功能并可編制多段升降溫程序;
          1、采用PID 方式調(diào)節(jié)控溫,可設(shè)置多段升降溫程序
          2、控溫精度±1ºC
          3、具有過(guò)溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過(guò)溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷
          4、儀表具有溫度自整定的功能
          密封方式 采用磁流體和真空法蘭的密封方式,密封效果更好
          旋轉(zhuǎn)速率 15rpm/min 可調(diào)
          旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu) 旋轉(zhuǎn)方式,爐管可以360℃旋轉(zhuǎn),爐體可傾斜
          真空系統(tǒng) 1、采用旋片真空泵,冷態(tài)極限真空度可達(dá)10Pa,真空泵含粉塵過(guò)濾器
          2、KF快接,不銹鋼波紋管,手動(dòng)擋板閥與法蘭,真空泵相連;
          3、數(shù)顯真空計(jì)顯示
          等離子電源系統(tǒng) 功率范圍 0-500W(連續(xù)可調(diào))
          工作頻率 13.56MHZ+0.005%
          工作模式 連續(xù)輸出
          冷卻方式 風(fēng)冷
          售后服務(wù) 12個(gè)月質(zhì)保、終身保修(加熱元件、爐管等隨機(jī)贈(zèng)送配件不屬于質(zhì)保范圍)
          注意事項(xiàng) 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
          · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
          · 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)
          · 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
          · 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃
          不得通入氯化物、硫化物等易腐蝕性氣體,易造成法蘭等不銹鋼件的損壞
          對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)
          不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。
          若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)
          若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

           

           

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          河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專(zhuān)業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn);產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶(hù)需求定制各式爐型,以滿(mǎn)足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開(kāi)發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶(hù)的一致好評(píng)。

            主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車(chē)爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類(lèi)電爐配件、加熱元件及耐火材料。

          鴻爐鄭重承諾:每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試,為客戶(hù)提供放心可靠的產(chǎn)品!!!

           

           

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           2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
           3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
           4、我公司技術(shù)人員可提供上門(mén)服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
           5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶(hù)手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。 。

           

           

           

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