2、可通過爐體滑動來達到快速升溫和快速降溫的效果;
3、爐體有兩個溫區(qū),可在爐體內(nèi)形成溫度梯度,兩個溫區(qū)最大溫差為400℃;
4、帶有預熱爐,氣體可通過此爐預熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。" />

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          原鄭州科佳電爐
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          產(chǎn)品中心

          高溫PECVD設備

          產(chǎn)品型號:KJ-T1600-PECVD

          主要用途:1、與普通PECVD相比較,其沉積溫度大大降低,減少了高溫對薄膜的損壞; 2、可通過爐體滑動來達到快速升溫和快速降溫的效果; 3、爐體有兩個溫區(qū),可在爐體內(nèi)形成溫度梯度,兩個溫區(qū)最大溫差為400℃; 4、帶有預熱爐,氣體可通過此爐預熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。

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          設備介紹

                 科佳高溫PECVD設備由管式爐、真空系統(tǒng)、氣體供應系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)等組成。帶有預熱爐,氣體可通過此爐預熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合,爐底裝有滑軌,可通過爐體滑動來達到快速升溫和快速降溫的效果。該PECVD通過射頻電源將石英真空室中的氣體改變?yōu)殡x子狀態(tài),等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。該系統(tǒng)主要用于金屬薄膜、陶瓷薄膜、復合薄膜、石墨烯等的生長。qrB高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
           

          產(chǎn)品優(yōu)勢

          • 沉積溫度低

            與普通PECVD相比較,其沉積溫度大大降低,減少了高溫對薄膜的損壞

          • 可快速升降溫

            爐底裝有滑軌,可通過爐體滑動來達到快速升溫和快速降溫的效果

          • 雙溫區(qū)設計

            爐體有兩個溫區(qū),可在爐體內(nèi)形成溫度梯度,兩個溫區(qū)最大溫差為400℃

          • 帶有預熱爐

            帶有預熱爐,氣體可通過此爐預熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合

          • 智能PID多段編程溫控

            通過SCR功率控制的PID自動控制加熱曲線,30步可編程

          技術參數(shù)

          產(chǎn)品名稱 高溫PECVD設備
          產(chǎn)品型號 KJ-T1600-PECVD
          爐膛 分體式,上部可打開
          最高溫度 1600度
          工作溫度 ≤1500℃
          加熱速率  0~10℃/min
          溫區(qū) 200mm+200+200mm
          加熱元件 硅鉬棒
          熱電偶 B型熱電偶
          溫度控制精度 ±1℃
          爐管尺寸 80mm OD x 3200 mm L  
          管子材質(zhì) 石英管
          溫度控制 通過SCR功率控制的PID自動控制
          加熱曲線 30步可編程
          真空法蘭 帶閥門的不銹鋼真空法蘭
          輸出功率 5-300W可調(diào),穩(wěn)定性±1%
          射頻頻率 13.56 MHz±0.005%穩(wěn)定性
          真空泵 旋片式真空泵+分子泵系統(tǒng)
           

           

           

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          關于鴻爐

           

          河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產(chǎn)品型號達到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫燒結、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。

            主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。

          鴻爐鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!

           

           

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           1、我公司對所供設備提供質(zhì)保一年保修服務(易損件除外),在保修期內(nèi)因設備質(zhì)量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務。
           2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
           3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
           4、我公司技術人員可提供上門服務(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
           5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。 。

           

           

           

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