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          原鄭州科佳電爐
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          產(chǎn)品中心

          六通道PECVD設(shè)備

          產(chǎn)品型號(hào):KJ-PECVD-LM

          主要用途:該pecvd設(shè)備是由管式爐真空泵和六通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)組成的。它可以混合1-6種氣體用于PECVD或擴(kuò)散。

          在線咨詢報(bào)價(jià)聯(lián)系熱線:177-3714-9370

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          設(shè)備介紹

                   該pecvd設(shè)備是由管式爐真空泵和六通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)組成的。它可以混合1-6種氣體用于PECVD或擴(kuò)散。該P(yáng)ECVD管式爐通過(guò)射頻電源將石英真空室中的氣體改變?yōu)殡x子狀態(tài),等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。該系統(tǒng)主要用于金屬薄膜、陶瓷薄膜、復(fù)合薄膜、石墨烯等的生長(zhǎng)。

          產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

          • 更好的沉積效率

            PECVD比普通CVD具有更高的化學(xué)氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性

          • 所需溫度更低

            PECVD對(duì)于化學(xué)氣相沉積需要比普通CVD更低的溫度

          • 成品質(zhì)量好

            具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)

          技術(shù)參數(shù)

          型號(hào) KJ-PECVD-LM
          管式爐部分 顯示 觸摸屏
          連續(xù)工作溫度. ≤1100℃第一溫區(qū)
          ≤1100℃第二溫區(qū)
          ≤1600℃第三溫區(qū)
          升溫速率 建議: 0~10℃/min
          溫區(qū) 220mm+220mm+220mm
          (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
          加熱元件 硅碳棒和硅鉬棒
          熱電偶 N型和B型
          溫度控制精度 ±1℃
          爐管尺寸 直徑:80 *長(zhǎng)度:1600mm 
          (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
          材料:氧化鋁管
          溫度控制 通過(guò)SCR功率控制的PID自動(dòng)控制
          傾斜功能 0-15度
          (不建議在1100C溫度下使用傾斜功能,因?yàn)楣桡f棒加熱元件可能容易損壞。高溫時(shí)會(huì)變軟,請(qǐng)注意。)
          加熱曲線 30步可編程
          真空法蘭 帶閥門(mén)的不銹鋼真空法蘭
          右側(cè)法蘭為滑動(dòng)式。
          法蘭應(yīng)為水冷式。
          等離子射頻
           
          功率范圍 0-300W(連續(xù)可調(diào))
          控制模式 手動(dòng)
          工作頻率 13.56MHz
          報(bào)警保護(hù) 直流過(guò)載保護(hù)、直流/放大器過(guò)熱保護(hù)、反射功率保護(hù)、匹配超時(shí)保護(hù)
          射頻輸出阻抗接口(50Ω) N型
          功率穩(wěn)定性 ≤ 1 W
          最大反射功率 200 W
          真空泵系統(tǒng)   分子泵系統(tǒng) 極限真空:6.7*10-3Pa。
          包括數(shù)字真空計(jì)   
          質(zhì)量流量計(jì)
          (LCD觸摸屏)
          六個(gè)精密質(zhì)量流量計(jì):
          MFC精度為:±1.5%F.S。
           液體蒸氣發(fā)電機(jī)  包括自動(dòng)液體蒸汽發(fā)生器,并連接到ALD閥
           
           17MHZ超聲波霧化
           
          配超聲波霧化器,液體可霧化成液體顆粒并引入管式爐。
          •液體罐標(biāo)配不銹鋼,并用氟橡膠密封件密封;
          •霧化量大小可控制;
          液體注入系統(tǒng) •一套用于自動(dòng)液體供給的標(biāo)準(zhǔn)液體注入泵
          •注射泵配有注射器,用于容納液體;
          •注射泵速度可調(diào)節(jié)
          水冷卻器 用于冷卻水冷法蘭和真空泵。

           

           

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          關(guān)于鴻爐

           

          河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專(zhuān)業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn);產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開(kāi)發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。

            主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車(chē)爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類(lèi)電爐配件、加熱元件及耐火材料。

          鴻爐鄭重承諾:每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!

           

           

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           1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
           2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
           3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
           4、我公司技術(shù)人員可提供上門(mén)服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
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