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          原鄭州科佳電爐
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          產(chǎn)品中心

          卷對(duì)卷PECVD設(shè)備

          產(chǎn)品型號(hào):KJ-T1200-JCY

          主要用途:整套體系可在真空/氣氛保護(hù)環(huán)境下工作。 收放卷機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)速從1~400mm/min可調(diào),機(jī)構(gòu)采用反饋調(diào)節(jié),可自動(dòng)糾正轉(zhuǎn)速偏差,保證樣品的速度穩(wěn)定不走樣。

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          設(shè)備介紹

                 卷對(duì)卷式PECVD是等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備(PECVD),并加裝了收放卷裝置。本設(shè)備可用于線材的連續(xù)化熱處理工藝中,如碳纖維制備、合金及其他材料線材改性處理等應(yīng)用中。也適合用于石墨烯在卷材上的連續(xù)生長(zhǎng)。設(shè)備含卷對(duì)卷收放卷運(yùn)動(dòng)模塊、1200℃雙溫區(qū)可開啟式管式爐模塊、PE等離子增強(qiáng)模塊、真空系統(tǒng)以及三路質(zhì)子流量計(jì)供氣系統(tǒng)五部分,整套體系可在真空/氣氛保護(hù)環(huán)境下工作。 收放卷機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)速從1~400mm/min可調(diào),機(jī)構(gòu)采用反饋調(diào)節(jié),可自動(dòng)糾正轉(zhuǎn)速偏差,保證樣品的速度穩(wěn)定不走樣。LNq高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
             

          產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

          • 樣品速度穩(wěn)定

            收放卷機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)速從1~400mm/min可調(diào),機(jī)構(gòu)采用反饋調(diào)節(jié),可自動(dòng)糾正轉(zhuǎn)速偏差,保證樣品的速度穩(wěn)定不走樣

          • 成品質(zhì)量好

            具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)

          • 更好的沉積效率

            PECVD比普通CVD具有更高的化學(xué)氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性

          技術(shù)參數(shù)

          產(chǎn)品名稱 卷對(duì)卷PECVD系統(tǒng)
          產(chǎn)品型號(hào) KJ-T1200-JCY
          1200℃雙溫區(qū)管式爐 加熱溫區(qū) 雙溫區(qū) 200mm+200mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
          工作溫度 ≤1200℃
          控溫精度 ±1℃
          控溫方式 AI-PID 30段工藝曲線,可存儲(chǔ)多條
          爐管材質(zhì) 高純石英
          爐管尺寸 φ80mm  x 1400mm L(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
          密封方式 不銹鋼真空法蘭
          工作氣體 氮?dú)?、氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體
          真空泵 旋片式真空泵
          極限真空度 10^-1Pa
          三路質(zhì)量流量計(jì) 閥門類型 不銹鋼針閥
          氣路數(shù)量 三路
          承壓范圍 0.05~0.3MPa
          量程 1~100 SCCM(Ar)
          1~200 SCCM(H2
          1~500 SCCM (CH4)
          流量控制范圍 ±1.5%
          S射頻電源 輸出功率 500W
          輸出精度 ±1%
          射頻頻率 13.56MHz
          射頻穩(wěn)定度 ±0.005%
          冷卻方式 風(fēng)冷

           

           

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          河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn);產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。

            主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。

          鴻爐鄭重承諾:每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品!??!

           

           

          售后服務(wù)

           

           1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
           2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
           3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
           4、我公司技術(shù)人員可提供上門服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
           5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。 。

           

           

           

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