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石墨烯生長爐PECVD設備
產品型號：KJ-T1200-S60LC-H2
主要用途：KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制備機是由KJ-T1200開啟式滑軌管式爐、真空系統(tǒng)、質量流量計氣路系統(tǒng)、等離子電源系統(tǒng)組成。可適用于石墨烯生長等
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設備介紹
KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制備機是由KJ-T1200開啟式滑軌管式爐、真空系統(tǒng)、質量流量計氣路系統(tǒng)、等離子電源系統(tǒng)組成。數字質量流量控制系統(tǒng)是由多路質量流量計，流量顯示儀等組成，實現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制；爐管連接部分采用KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷；管路采用卡套連接，不漏氣；觸屏操作，操作簡單方便。這款PECVD等離子沉積設備可適用于石墨烯生長等。產品優(yōu)勢
成品質量好具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點
更好的沉積效率PECVD比普通CVD具有更高的化學氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性
真空可達10Pa真空系統(tǒng)由旋片真空泵和數顯真空計組成，最高真空可達10Pa
技術參數
| 產品名稱 | 石墨烯生長爐PECVD設備 |
| 開啟式滑軌管式爐部分 | |
| 產品型號 | KJ-T1200-S60LC-H2 |
| 爐管尺寸 | 直徑60mm*長度1600mm（其他尺寸可根據客戶需求定制） |
| 加熱區(qū)長度 | 300mm（其他尺寸可根據客戶需求定制） |
| 工作溫度 | ≤1100℃ |
| 最高溫度 | 1200℃ |
| 溫控方式 | N型熱電偶 |
| 控制方式 | 溫度控制系統(tǒng)采用觸屏操作，人工智能調節(jié)技術，具有 PID 調節(jié)、自整定功能并可編制 30 段升降溫程序； |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 溫控保護 | 具有超溫和斷偶保護功能 |
| 升溫速率 | 建議≤10℃/min |
| 加熱元件 | 含鉬電阻絲 |
| 爐膛材料 | 氧化鋁多晶纖維 |
| 密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸，氣密性好。 |
| 爐體結構 | 滑軌結構，可以實現(xiàn)快速降溫 |
| 爐 管 | 石英爐管 |
| 真空系統(tǒng)部分 | |
| 名稱 | 真空系統(tǒng) |
| 主要參數 |
采用旋片真空泵和數顯真空計組成，真空度可達10Pa |
| 名稱 | 四路質量流量計 |
| 主要參數 | 四通道精密質量流量計：觸屏控制，數字顯示。 進出氣口：4進1出 |
| 等離子電源部分 | |
| 名稱 | 500W等離子電源 |
| 功率范圍 | 0-500W（連續(xù)可調） |
| 工作頻率 | 13.56MHZ+0.005% |
| 冷卻方式 | 風冷 |
| 售后服務 | 整機質保一年，終身保修（加熱元件、密封圈等隨機贈送配件不屬于質保范圍） |
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河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產品的研發(fā)、生產與銷售的企業(yè)。我公司產品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點；產品型號達到上百種，并可根據客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫燒結、金屬退火、氣氛還原和質量檢測之用，廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產，受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產品！?。?/font>
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