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旋轉PECVD系統(tǒng)
產品型號：KJ-T1200-S80-DZPECVD-R
主要用途： 該系統(tǒng)廣泛應用于沉積高質量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質薄膜、光學薄膜和炭納米管（CNT）、石墨烯材料等。
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設備介紹
該設備是一款定制的PECVD系統(tǒng)，增加了傾斜、旋轉功能。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源，高溫管式爐，4通道質量流量供氣系統(tǒng)和分子泵機組。PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發(fā)生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。 該系統(tǒng)廣泛應用于沉積高質量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質薄膜、光學薄膜和炭納米管（CNT）、石墨烯材料等，是科研機構和大學實驗室的理想產品。
產品優(yōu)勢
爐管可旋轉爐管采用定制變徑爐管，管壁內帶有石英撥料臺，讓物料受熱更充分。爐管360℃旋轉，旋轉速度可調
成品質量好PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點
智能多段PID可編程溫控系統(tǒng)采用PID智能化程序控溫，自整定功能并可編制多段升降溫程序
技術參數
| 產品名稱 | 定制旋轉PECVD系統(tǒng) |
| 滑軌管式爐部分 | |
| 產品型號 | KJ-T1200-S80-DZPECVD-R |
| 爐管尺寸 | 直徑80*長度1600mm 可選其他直徑Φ50，60，80，100，120，150mm （其他尺寸可根據客戶需求定制） |
| 爐管材質 | 石英管 |
| 加熱區(qū) | 單溫區(qū)，溫區(qū)長度400mm（其他尺寸可根據客戶需求定制） |
| 工作溫度 | ≤1100℃ |
| 最高溫度 | 1200℃ |
| 溫控方式 | N型熱電偶 |
| 控制方式 | 觸屏控制 |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 溫控保護 | 具有超溫和斷偶保護功能 |
| 升溫速率 | 建議≤10℃/min |
| 加熱元件 | 含鉬電阻絲 |
| 爐膛材料 | 氧化鋁多晶纖維 |
| 法蘭接頭 | 標配配有不銹鋼真空法蘭，已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥 |
| 密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸，磁流體密封，氣密性好可實現爐管旋轉過程中的高真空。 |
| 真空系統(tǒng)部分 | |
| 主要參數 | 采用高真空分子泵組，爐管內真空度可達10-3pa |
| 氣路系統(tǒng)部分 | |
| 名稱 | 四路質量流量計（量程可選） |
| 等離子電源部分 | |
| 功率范圍 | 0-500W（連續(xù)可調） |
| 售后服務 | 質保一年，終身保修（耗材類：高溫密封圈、爐管、加熱元件等及人為損壞不屬于質保范圍） |
| 更多規(guī)格可根據客戶需求定制 | |
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河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產品的研發(fā)、生產與銷售的企業(yè)。我公司產品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點；產品型號達到上百種，并可根據客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫燒結、金屬退火、氣氛還原和質量檢測之用，廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產，受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產品！?。?/font>
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