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立式PECVD設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào)：KJ-PECVD-DZ
主要用途：廣泛應(yīng)用于：各種薄膜的生長(zhǎng)，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和無(wú)定型硅(a-Si:H) 等。
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設(shè)備介紹
定制立式PECVD設(shè)備，由真空立式管式爐、石英真空室、射頻電源、供氣系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)組成。該系統(tǒng)以含鉬電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門(mén)和壓力表，真空泵接口，具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。 該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管（CNT）、石墨烯材料等。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
沉積效果好等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜
成品質(zhì)量好PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)
沉積應(yīng)力大小可調(diào)可以通過(guò)射頻電源的頻率來(lái)控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小
技術(shù)參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱 | 定制PECVD設(shè)備 |
| 產(chǎn)品型號(hào) | KJ-PECVD-DZ |
| 立式管式爐 | |
| 爐膛模式 | 立式開(kāi)啟式 |
| 爐膛材料 | 高純度氧化鋁耐火纖維 |
| 加熱元件 | 含鉬加熱絲 |
| 極限溫度 | 1200℃ |
| 工作溫度 | ≤1100℃ |
| 升溫速率 | 建議≤10℃/min |
| 加熱溫區(qū) | 單溫區(qū)、多溫區(qū) |
| 溫區(qū)長(zhǎng)度 | 200mm、300mm、440可選 （其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
| 爐管材質(zhì) | 高純石英 |
| 爐管直徑 | 40mm/50mm/60mm/80mm/100mm/120mm/150mm可選 （其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
| 密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈) |
| 控制模式 | 觸屏 30段智能PID程序控溫 預(yù)留通訊接口 |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 溫度曲線 | 多段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè) |
| 測(cè)溫元件 | N型熱電偶 |
| 氣路系統(tǒng) | |
| 氣體通道 | 可同時(shí)連接多種氣源 |
| 流 量 計(jì) | 質(zhì)量流量計(jì) |
| 氣路壓力 | -0.1～0.15 MPa |
| 截止閥 | 不銹鋼材質(zhì) |
| 氣體連接管 | 1/4不銹鋼管 |
| 等離子電源系統(tǒng) | |
| 功率范圍 | 0-100W、0-300W 、0-500W ± 1% |
| 冷卻 | 風(fēng)冷 |
| 數(shù)顯真空計(jì)及連接件 | |
| 數(shù)顯真空計(jì) | 數(shù)顯真空計(jì)安裝在不銹鋼法蘭上 |
| 真空泵組(相關(guān)連接配件) | |
| 真空泵 | 真空泵,及相應(yīng)連接管件 |
| 汽化系統(tǒng) | ... |
| 蠕動(dòng)泵 |
精確度：+/- 0.5% FS 流量: 0 - 10 ml/min，可調(diào)，最小速率0.1ml/min |
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河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)；產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開(kāi)發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾：每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。。?/font>
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2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供上門(mén)服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
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