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流化床CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào)：KJ-CVD-DZ
主要用途：主要用于物料及其復(fù)合碳化物等超高熔點(diǎn)涂層化學(xué)氣相沉積制備工藝的研究。
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設(shè)備介紹
定制流化床CVD系統(tǒng)，由真空立式管式爐、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)組成。該系統(tǒng)以硅碳棒為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端用不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，真空泵接口，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。該立式CVD管式爐廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中沉積薄膜材料，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
產(chǎn)品優(yōu)勢
多段智能PID程序控溫控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié)，可以設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度可以達(dá)到±1℃
優(yōu)良的動(dòng)密封系統(tǒng)不銹鋼金屬法蘭，帶閥門和相關(guān)接口，拆裝方便，可抽真空充保護(hù)氣體至微正壓
立式可開啟結(jié)構(gòu)雙層殼體立式可開啟結(jié)構(gòu)，取放爐管方便，裝有風(fēng)冷系統(tǒng),爐子外殼溫度保持安全范圍內(nèi)
技術(shù)參數(shù)
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產(chǎn)品名稱 |
流化床CVD系統(tǒng) |
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產(chǎn)品型號(hào) |
KJ-CVD-DZ |
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立式管式爐部分 |
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爐膛模式 |
立式開啟式 |
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爐膛材料 |
進(jìn)口氧化鋁耐火纖維 |
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加熱元件 |
優(yōu)質(zhì)硅碳棒 |
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極限溫度 |
1400℃ |
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工作溫度 |
≤1300℃ |
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升溫速率 |
建議≤10℃/min |
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加熱溫區(qū) |
單溫區(qū)、多溫區(qū) |
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溫區(qū)總長度 |
200mm、300mm、440mm可選 |
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爐管材質(zhì) |
高純石英管、剛玉管 |
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爐管直徑 |
40、50、60、80、100mm可選 |
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密封方式 |
304不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈) |
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控制模式 |
多段智能PID程序控溫 預(yù)留通訊接口 |
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控溫精度 |
±1℃ |
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溫度曲線 |
多段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè) |
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測溫元件 |
N型熱電偶 |
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氣路系統(tǒng)部分 |
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氣體通道 |
可同時(shí)連接多種氣源 |
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流 量 計(jì) |
質(zhì)量流量計(jì) |
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A路量程 |
0～500SCCM |
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B路量程 |
0～500SCCM |
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C路量程 |
0～500SCCM |
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..... |
..... |
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氣路壓力 |
-0.1～0.15 MPa |
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截止閥 |
不銹鋼材質(zhì) |
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氣體連接管 |
1/4不銹鋼管 |
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數(shù)顯真空計(jì)及連接件 |
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數(shù)顯真空計(jì) |
數(shù)顯真空計(jì)安裝在不銹鋼法蘭上 |
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真空泵組(相關(guān)連接配件) |
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真空泵 |
真空泵,及相應(yīng)連接管件 |
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售后服務(wù) |
質(zhì)保一年，終身保修（耗材類：高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍） |
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河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點(diǎn)；產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾：每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?！
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