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此款定制高溫氣相沉積系統(tǒng)由高溫沉積室、升華室、供氣系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成。該CVD高溫管式爐主要用廣泛應用于半導體工業(yè)中沉積薄膜材料,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。
產品優(yōu)勢
超溫保護和報警 有超溫保護和報警,及過熱和熱電偶斷裂保護功能,允許在無人值守的情況下運行
30段智能PID程序控溫控溫系統(tǒng)采用PID方式調節(jié),可以設置30段升降溫程序,控溫精度可以達到±1℃
法蘭采用雙環(huán)密封技術氣密性好,法蘭上可接電阻真空計、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈式
| 產品名稱 | 定制高溫CVD系統(tǒng) |
| 沉積爐 | |
| 產品型號 | KJ-T1500CVD-DZ |
| 爐膛模式 | 開啟式 |
| 爐膛材料 | 氧化鋁耐火纖維 |
| 加熱元件 | U型硅鉬棒 |
| 極限溫度 | 1600℃高溫區(qū) |
| 工作溫度 | ≤1500℃高溫區(qū) |
| 升溫速率 | ≤10℃/min |
| 加熱溫區(qū) | 單溫區(qū)、雙溫區(qū)、多溫區(qū),可根據需求選擇 |
| 溫區(qū)總長度 | 200mm、300mm、400mm可選 (其他尺寸可根據客戶需求定制) |
| 爐管材質 | 剛玉管 |
| 爐管直徑 | 40mm、50mm、60mm、80mm、100mm可選 (其他尺寸可根據客戶需求定制) |
| 密封方式 | 定制不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈) 底部法蘭有三個進氣口 方便進氣 底部法蘭加支架 方便工件放在沉積爐低溫區(qū) |
| 控制模式 | 每個溫區(qū)單獨 30段智能PID程序控溫 |
| 溫度曲線 | 多段"時間—溫度曲線"任意可設 |
| 測溫元件 | B型雙鉑銠熱電偶 |
| 供氣系統(tǒng) 集成在控制柜上 | |
| 氣體通道 | 可同時連接多種氣源 |
| 流 量 計 | 浮子流量計 |
| A路量程 | 1L/MIN |
| B路量程 | 1L/MIN |
| C路量程 | 1L/MIN |
| 氣路壓力 | -0.1~0.15 MPa |
| 截止閥 | 不銹鋼材質 |
| 氣體連接管 | 1/4不銹鋼管 |
| 氣化爐A、B | |
| 最高溫度 | 700℃ |
| 工作溫度 | ≤500℃ |
| 爐膛尺寸 | 定制 |
| 開門方式 | 上開 |
| 進氣口 | 一個進氣口 |
| 出氣口 | 一個出氣口 |
| 售后服務 | 12個月質保(易耗件及人為損壞除外),終身保修 |
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河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產品的研發(fā)、生產與銷售的企業(yè)。我公司產品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產品型號達到上百種,并可根據客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫燒結、金屬退火、氣氛還原和質量檢測之用,廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產,受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產品?。?!
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