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RTP真空快速退火爐
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產品型號：KJ-TRTP1000
主要用途：真空RTP退火爐可在真空、氣氛環(huán)境下，對樣品進行快速熱處理，主要應用于院校實驗室、工礦企業(yè)實驗室，如：薄膜沉積，不同材料快速退火、硅化、擴散、晶化和致密化等。
可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出。
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設備介紹
真空RTP退火爐是一款真空度比較高的快速熱處理管式爐，配有石英腔體和真空法蘭，采用鹵素燈加熱，升溫速度可達50℃/秒，PID自動控制，30段可編程序，它是專為半導體或太陽能電池基片的退火而設計。該高溫退火管式爐可在真空、氣氛環(huán)境下，對樣品進行快速熱處理，主要應用于院校實驗室、工礦企業(yè)實驗室，如：薄膜沉積，不同材料快速退火、硅化、擴散、晶化和致密化等。
產品優(yōu)勢
鹵素燈加熱 升溫速度快加熱元件采用鹵素燈加熱，升溫速度可達50℃/秒
底部滑軌設計 實現快速冷卻爐子的底部安裝有一對滑軌，可使爐子從爐管的一側滑動到另一側，以實現快速加熱和快速冷卻
30段高精度數字可編程30段高精度數字可編程溫度控制器，控溫精度高，可達±1℃
技術參數
| 處理晶圓尺寸：2英寸 | 處理晶圓尺寸：4英寸 | 處理晶圓尺寸：6英寸 | |||
| 爐管外徑 | 100MM | 爐管外徑 | 110-150MM | 爐管外徑 | 180MM |
| 加熱區(qū)尺寸 | 200MM | 加熱區(qū)尺寸 | 300MM | 加熱區(qū)尺寸 | 400MM |
更多尺寸可根據客戶需求定制
| 產品名稱 | RTP 快速退火爐 |
| 工作溫度 | 900℃ |
| 控 制 器 | LED(可選配LCD觸屏) |
| 爐 膛 | 開啟式 滑道式 |
| 爐管尺寸 | 根據需求尺寸定制 |
| 加熱元件 | 鹵素燈 |
| 升溫速率 | ≤50℃/S |
| 熱 電 偶 | 根據實際需要設計來配 |
| 溫度控制器 | 30段高精度數字可編程溫度控制器 |
| 特殊要求 | 具體細節(jié)可根據客戶需求定制（詳情歡迎來電咨詢我們） 1、可定制真空系統(tǒng) 2、可定制氣路系統(tǒng) 3、其他特殊工藝需求 |
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河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產品的研發(fā)、生產與銷售的企業(yè)。我公司產品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點；產品型號達到上百種，并可根據客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫燒結、金屬退火、氣氛還原和質量檢測之用，廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產，受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產品?。。?/font>
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