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          原鄭州科佳電爐
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          產(chǎn)品中心

          滑道式PECVD系統(tǒng)

          產(chǎn)品型號:KJ-T1200-S6044-LK-Z

          主要用途:滑道式PECVD系統(tǒng)由PT-1200T管式爐加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、質(zhì)量流量計供氣系統(tǒng)、等離子射頻電源系統(tǒng)組成。廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金剛石薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管(CNT)等。

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          設(shè)備介紹

                  滑道式PECVD系統(tǒng)由PT-1200T管式爐加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、質(zhì)量流量計供氣系統(tǒng)、等離子射頻電源系統(tǒng)組成。借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強,很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。 該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。Emn高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
            

          產(chǎn)品優(yōu)勢

          • 成品質(zhì)量好

            PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點

          • 沉積效果好

            等離子體化學(xué)活性很強,很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜

          • 智能多段PID可編程

            溫控系統(tǒng)采用PID智能化程序控溫,自整定功能并可編制多段升降溫程序

          技術(shù)參數(shù)

          產(chǎn)品名稱 滑道式PECVD系統(tǒng)
          滑軌管式爐部分
          產(chǎn)品型號 KJ-T1200-S6044-LK-Z
          加熱區(qū)長度 440mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
          爐管直徑 直徑60mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
          工作溫度 ≦1100℃
          最高溫度 1200℃
          測溫元件 N型熱電偶
          溫控系統(tǒng) PID微電腦可編程自動控制
          控溫精度 ±1℃
          溫控保護 具有超溫和斷偶保護功能
          升溫速率 0-10℃/min  
          加熱元件 電阻絲
          滑軌設(shè)計 能實現(xiàn)快速升降溫
          爐膛材料 采用多晶纖維爐膛材料,材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡
          密封系統(tǒng) 該爐爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,氣密性好
          爐  管 高純石英管
          法   蘭 不銹鋼法蘭,方便拆卸,放取材料
                               真空系統(tǒng)部分
          名稱 高真空分子泵組
          主要參數(shù) 真空泵極限真空度10-3 pa(包含KF25接口和可移動箱體)
          氣路系統(tǒng)部分
          名稱 四路質(zhì)量流量計
          氣路 四路
          流量控制 每路氣體含有針閥單獨控制
          流量計 質(zhì)量流量計
          等離子電源系統(tǒng)
          匹配功率范圍 0-500W
          工作頻率 13.56MHZ+0.005%
          控制模式 手動/自動
          售后服務(wù) 質(zhì)保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍)

           

           

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          河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產(chǎn)品型號達到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。

            主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實驗電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。

          鴻爐鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!

           

           

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           1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
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           3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
           4、我公司技術(shù)人員可提供上門服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
           5、本公司可提供運輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進行。隨機技術(shù)資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機工具等)。 。

           

           

           

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