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1100度雙溫區(qū)滑道CVD
產(chǎn)品型號：KJ-TCVD1100-S60CK2
主要用途：這款雙溫區(qū)滑道CVD管式爐采用滑道設(shè)計，可以通過導(dǎo)軌左右滑動實現(xiàn)物料的快冷和快熱；可同時連接6種氣源，氣體流量采用觸屏6路質(zhì)量流量控制器進行精確測量和控制。該高溫CVD設(shè)備主要用于大學(xué)，研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進行氣相沉積相關(guān)的實驗與生產(chǎn)。
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設(shè)備介紹
這款1100度雙溫區(qū)滑道CVD系統(tǒng)主要由管式爐、高真空分子泵真空系統(tǒng)、6路質(zhì)量流量計供氣系統(tǒng)及其它連接件等組成；爐底采用滑道設(shè)計，可以通過導(dǎo)軌左右滑動實現(xiàn)物料的快冷和快熱；可同時連接6種氣源，氣體流量采用觸屏6路質(zhì)量流量控制器進行精確測量和控制。該高溫CVD設(shè)備主要用于大學(xué)，研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進行氣相沉積相關(guān)的實驗與生產(chǎn)。產(chǎn)品優(yōu)勢
拿取爐管方便該爐體采用上下“分-合”結(jié)構(gòu)，易于取放爐管
溫場均勻爐膛內(nèi)部設(shè)計有對流柵格，爐體內(nèi)部氣流容易形成上下對流循環(huán)，有利于爐溫平衡，溫場均勻
安全防燙整個爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu)，中間有氣隙隔離，爐體表面可以安全觸摸無滾燙感覺
加熱均勻爐膛加熱元件呈圓周狀軸向均勻分布，并且發(fā)熱元件已做內(nèi)嵌式固化，加熱時熱能輻射均勻溫和
氣體控制精準(zhǔn)氣體流量采用觸屏6路質(zhì)量流量控制器進行精確測量和控制
真空度高高真空分子泵機組可對爐管進行快速置換氣體、實現(xiàn)管內(nèi)高真空
技術(shù)參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱 | CVD系統(tǒng) |
| 型號 | KJ-TCVD1200-S60CK2 |
| 雙溫區(qū)滑道管式爐部分 | |
| 爐膛模式 | 開啟式 |
| 爐體滑動 | 可以通過導(dǎo)軌左右滑動實現(xiàn)物料的快冷和快熱 |
| 爐膛材料 | 氧化鋁耐火纖維 |
| 加熱元件 | 含鉬加熱絲 |
| 極限溫度 | 1200℃ |
| 工作溫度 | ≤1100℃ |
| 升溫速率 | 建議:≤10℃min |
| 加熱溫區(qū) | 雙溫區(qū) |
| 溫區(qū)總長度 | 200+200mm（其他尺寸可按客戶需求定制） |
| 爐管材質(zhì) | 高純石英 |
| 爐管直徑 | 60mm（其他尺寸可按客戶需求定制） |
| 密封方式 | 不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈) 其中一端用方便進出物料的快接法蘭，預(yù)留進氣品和出氣口 |
| 控制模式 | 多段智能PID程序控溫 |
| 測溫元件 | N型熱電偶 |
| 報警 | 有超溫和斷偶報警 |
| 供氣系統(tǒng) KJ-6Z | |
| 最大氣壓 | 3*10-3Pa |
| 氣體通道 | 可同時連接6種氣源 質(zhì)量流量計和混氣罐都安裝在移動箱體內(nèi) |
| 流 量 計 | 質(zhì)量流量計(可選其他量程 不影響價格) |
| 氣路壓力 | -0.1～0.15 MPa |
| 截止閥 | 不銹鋼材質(zhì) |
| 氣體連接管 | 不銹鋼管 |
| 真空系統(tǒng)(含不銹鋼波紋管和相關(guān)連接配件) | |
| 真空泵+數(shù)顯真空計 | 分子泵機組及相應(yīng)連接管件 底部安滑輪方便移動，上方可放置高溫爐極限真空度可實現(xiàn)6.67*10-3pa |
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河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點；產(chǎn)品型號達(dá)到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實驗電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品！?。?/font>
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