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化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
產(chǎn)品型號：KJ-TCVD1200-S80LK1
主要用途：適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
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設(shè)備介紹
此款CVD氣相沉積系統(tǒng)的工作溫度為300℃至1200℃，配備真空泵，氣體混合裝置。采用了溫度控制系統(tǒng)，出色的氣體流量精度，易于操作，有非常好的隔熱效果和溫度均勻性。該CVD管式爐適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。主要用于大學(xué)，研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行氣相沉積相關(guān)的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)。
產(chǎn)品優(yōu)勢
智能控溫智能PID控制，多段可編程控溫和自整定功能，多段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè)
氣密性好可重復(fù)拆裝的不銹鋼密封法蘭。拆裝方便，密封性好，可抽真空通多種氣氛
上開啟式結(jié)構(gòu)雙層殼體上開啟結(jié)構(gòu)，取放爐管方便，裝有風(fēng)冷系統(tǒng),爐子外殼溫度保持安全范圍
技術(shù)參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱 | 化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) |
| 產(chǎn)品型號 | KJ-TCVD1200-S80LK1 |
| 管式爐部分 | |
| 爐膛模式 | 開啟式 |
| 顯示模式 | LED |
| 爐膛材料 | 氧化鋁耐火纖維 |
| 加熱元件 | 合金電阻絲 |
| 極限溫度 | 1200℃ |
| 工作溫度 | ≤1100℃ |
| 升溫速率 | 0-10℃/min |
| 加熱溫區(qū) | 單溫區(qū) |
| 溫區(qū)長度 | 440mm（其他尺寸可按客戶需求定制） |
| 爐管材質(zhì) | 高純石英 |
| 爐管外徑 | 80mm（其他尺寸可按客戶需求定制） |
| 爐管長度約 | 1000mm（其他尺寸可按客戶需求定制） |
| 密封方式 | 可重復(fù)拆裝的不銹鋼密封法蘭。拆裝方便，密封性好 |
| 控制模式 | 智能PID控制，具有多段可編程控溫和自整定功能 |
| 溫度曲線 | 多段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè) |
| 報(bào)警：有超溫和斷偶報(bào)警 | |
| 測溫元件 | N型熱電偶 |
| 供氣系統(tǒng) | |
| 流 量 計(jì) | 三路質(zhì)量流量計(jì)（量程可根據(jù)需要選擇） |
| A路量程 氮?dú)?/span> | 0～1000SCCM |
| B路量程 甲烷 | 0～500SCCM |
| C路量程 乙烯 | 0～1000SCCM |
| 混氣 | 內(nèi)含一個(gè)精密混氣罐 |
| 真空系統(tǒng)(含不銹鋼波紋管和相關(guān)連接配件) | |
| 真空泵抽速 | 2L/S抽速的機(jī)械旋片泵、波紋管及相關(guān)連接件，極限真空可實(shí)現(xiàn)10pa |
| 數(shù)顯真空計(jì) | 數(shù)顯電阻真空計(jì)集成在可移動(dòng)供氣系統(tǒng)箱體上 |
| 測量路數(shù) | 1路 |
| 顯示方式 | LED數(shù)字顯示 |
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河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點(diǎn)；產(chǎn)品型號達(dá)到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品！?。?/font>
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