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          原鄭州科佳電爐
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          產(chǎn)品中心

          低真空CVD系統(tǒng)

          產(chǎn)品型號(hào):KJ-T1200-S60-CVD

          主要用途:此款CVD生長(zhǎng)系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。

          在線咨詢報(bào)價(jià)聯(lián)系熱線:177-3714-9370

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          設(shè)備介紹

          此款CVD系統(tǒng)工作溫度為300℃至1200℃,配備真空泵,氣體混合裝置。采用了智能溫度控制系統(tǒng),高精度氣體流量控制,易于操作,有非常好的隔熱效果和溫度均勻性。 主要用于大學(xué),研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行氣相沉積相關(guān)的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)。此款CVD高溫管式爐適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。DYz高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
           

          產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

          • 真空度自動(dòng)控制

            ?中低真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動(dòng)控制功能

          • 耐沖擊高真空系統(tǒng)

            高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng),耐沖擊真空泵,防止意外漏氣造成真空泵損壞,延長(zhǎng)系統(tǒng)使用壽命

          • PID程控控制系統(tǒng)

            控制電路選用模糊PID程控技術(shù),該技術(shù)控溫精度高,熱慣性小,溫度不過(guò)沖

          技術(shù)參數(shù)

          產(chǎn)品名稱 低真空CVD系統(tǒng)
          產(chǎn)品型號(hào) KJ-T1200-S60-CVD
          管式爐部分
          爐體結(jié)構(gòu) 雙層殼體結(jié)構(gòu),配有冷風(fēng)系統(tǒng)自動(dòng)降溫爐殼溫度
          爐膛材質(zhì) 真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡
          最高溫度 1200℃
          連續(xù)工作溫度 1100℃
          升溫速度 推薦≤10℃/min
          爐管材料 高純石英管
          爐管尺寸  OD:60mm* ID:54mm * 長(zhǎng)1200mm 
          (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
          儀器使用前必須放入管堵,防止熱輻射
          加熱區(qū)長(zhǎng)度 220+220+220mm
          (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)
          法蘭 不銹鋼密封法蘭,拆卸方便,法蘭上裝有精密針閥
          溫控系統(tǒng) 溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能
          1、采用PID方式調(diào)節(jié)控溫,可設(shè)置30段升降溫程序
          2、控溫精度±1ºC 
          3、具有過(guò)溫保護(hù)、斷偶保護(hù)
          4、儀表具有溫度自整定的功能
          加熱元件 含鉬合金電阻絲
          測(cè)溫元件 N型熱電偶
          進(jìn)出氣口 法蘭上含有真空連接口,進(jìn)出氣口
          氣路系統(tǒng)部分
          質(zhì)量流量計(jì) 四路精密質(zhì)量流量計(jì):數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制。
          MFC1 范圍:  0-500 sccm(量程可選)
          MFC2 范圍:  0-500 sccm(量程可選)
          MFC3 范圍:  0-500 sccm(量程可選)
          MFC4 范圍:  0-500 sccm(量程可選)
          氣路:4 路
          流量精度: 0.2%
          真空系統(tǒng)部分
          真空泵 1.旋片泵抽速2L/S
          2.極限真空度:7*10-2Torr
          3.數(shù)顯真空計(jì),實(shí)時(shí)顯示真空度,真空顯示范圍:1×105--1×10-1pa

           

           

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          河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn);產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開(kāi)發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。

            主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。

          鴻爐鄭重承諾:每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!

           

           

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