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1200度三溫區(qū)CVD管式爐
產(chǎn)品型號：KJ-1200T-S60LK3-3FZ
主要用途：該系統(tǒng)廣泛用于各種反應(yīng)溫度在1100℃左右的CVD實(shí)驗(yàn)，如半導(dǎo)體工業(yè)中沉積薄膜材料，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。
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設(shè)備介紹
KJ-1200T-S60LK3-3FZ型CVD管式爐由KJ-T1200管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成 ，最高溫度可以達(dá)到1200度，可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和智能控溫儀表，能進(jìn)行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用高純氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。
產(chǎn)品優(yōu)勢
保溫節(jié)能爐膛內(nèi)爐膛表面涂有高純度氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度?
安全防燙爐殼爐殼采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，用于降低殼體表面溫度
PID30段程序化控溫控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié)，可以設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度可以達(dá)到±1℃
技術(shù)參數(shù)
| 設(shè)備名稱 | 溫區(qū)CVD管式爐 |
| 設(shè)備型號 | KJ-1200T-S60LK3-3FZ |
| 高溫爐殼 | 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，用于降低殼體表面溫度 |
| 加熱元件 | 電阻絲 |
| 最高工作溫度 | 1200℃ |
| 工作溫度 | ≤1100℃ |
| 升溫速率 | 建議≤10 ℃/min |
| 爐管材質(zhì)尺寸 | 石英管: 外徑: 80mm x 內(nèi)徑: 75 mm x 長度: 1000 mm （其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
| 加熱區(qū)長度 | 三溫區(qū)：200+200+200 mm （其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
| 控溫系統(tǒng) | PID30段程序化控溫 |
| 控溫精度 | +/- 1 ℃ |
| 真空密封系統(tǒng) | 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計(jì)和截止閥），最大漏氣率6 mtorr/min |
| 真空泵 | 雙旋機(jī)械泵 |
| 真空顯示計(jì) | 數(shù)顯真空計(jì),已安裝在不銹鋼法蘭上 |
| 混氣系統(tǒng) | 三個(gè)質(zhì)量流量計(jì) 三路質(zhì)量量程分別為 10-100 cc/min. 16-160 cc/min. 25-250 cc/min 內(nèi)部安裝有一混氣罐 |
| 售后服務(wù) | 質(zhì)保一年，終身保修 |
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河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點(diǎn)；產(chǎn)品型號達(dá)到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。。?/font>
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