真空熱處理具有無氧化、不脫碳、工件表面光亮、變形小、無污染、節(jié)能、自動化程度高，以及適用范圍廣等優(yōu)點，是近年來發(fā)展得比較快的熱處理新技術之一，特別是在航空材料表面改性方面獲得了很大的進展。

 

許多新開發(fā)的熱處理技術，比如真空高壓氣淬、真空化學熱處理等，也需要在真空下方能實施。采用真空熱處理技術可使結構材料、工模具的質(zhì)量和使用壽命得到大幅度的提高，尤其適合于一些精密零件的熱處理。

 

隨著真空熱處理技術的發(fā)展，真空熱處理設備如真空回火爐、真空淬火爐、真空退火爐、真空滲碳爐、真空燒結爐、真空釬焊爐等在國內(nèi)得以研制成功，在工業(yè)上真空爐的制造技術和裝備水平不斷提高，真空度也逐漸的達到了國際水平，但是在自動化控制和器件的精細加工上與國外還有一定的差距，尤其是在超高真空爐性能的穩(wěn)定上有待精密器件制備水平的提高。此外測試技術和測量儀器的發(fā)展也對真空設備有很大的影響，尤其是自動測試與控制技術。真空設備中極限真空度、工作真空度、空爐抽空時間、壓升率、爐溫均勻度及空爐升溫時間等參數(shù)的準確測量和性能指標是真空爐性能的主要體現(xiàn)。

 

在工業(yè)發(fā)達的國家，真空熱處理爐的比例已達20%左右，而我國目前約有真空熱處理爐1200臺，占熱處理爐總數(shù)的1%左右，與國外的差距很大，預計今后隨著熱處理行業(yè)的技術進步和對熱處理工件質(zhì)量的要求越來越高，真空熱處理將會有較大的發(fā)展。