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用真空熱處理爐做熱處理工藝時(shí),對爐內(nèi)的真空度一般要求比較高,在熱處理前需要先進(jìn)行真空檢漏,以免實(shí)驗(yàn)過程中出現(xiàn)漏氣,對工件造成影響。之前文章中有介紹正壓檢漏的方法,下面來介紹一下負(fù)壓檢漏的方法。
負(fù)壓檢漏是把電阻爐抽成真空狀態(tài),在爐體或真空管道外施加示漏氣體,如果存在漏孔,示漏氣體就會通過漏孔進(jìn)入爐內(nèi),利用安裝在爐內(nèi)的氣體探頭檢測出示漏氣體來確定漏孔的位置,周時(shí)測量出漏率的大小。負(fù)壓檢漏分為靜態(tài)檢漏和動(dòng)態(tài)檢漏。采用靜態(tài)檢漏時(shí),把電阻爐抽成真空狀態(tài)后,關(guān)閉所有閥門和真空系統(tǒng),用真空計(jì)進(jìn)行檢漏,這種方法可以確定漏孔的位置,但很難測量出漏率的大小。
目前多采用動(dòng)態(tài)檢漏,即檢漏是在真空系統(tǒng)工作狀態(tài)下進(jìn)行,示漏氣體沿爐子外部巡回噴出,一旦噴到漏氣處,示漏氣體便被吸入爐內(nèi),內(nèi)部的探頭發(fā)生反應(yīng),輸出變化的電信號被外部儀器測量。噴氣嘴離開漏孔后,真空系統(tǒng)把爐內(nèi)的示漏氣體抽走,恢復(fù)到原來的空氣流,探頭恢復(fù)原來狀態(tài),這樣就確定了漏孔的位置。對于真空電阻爐而言,真空計(jì)檢漏法比較經(jīng)濟(jì)實(shí)用。
熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)的讀數(shù)與氣體種類有爐,只要選用合適的示漏氣體,真空規(guī)管就變成了氣敏探頭,真空計(jì)也就成了檢漏儀。熱傳導(dǎo)真空計(jì)遇到氫氣,二氧化碳,丁烷,丙醚,乙醚,酒精等氣體時(shí),讀數(shù)會發(fā)生變化,可用這些物質(zhì)做示漏氣體進(jìn)行噴吹檢漏。采用電離真空計(jì)檢漏時(shí),氫氣,氦氣,氬氣,苯,丁烷,丙醚,乙醚及丙酮等能使讀數(shù)發(fā)生較大變化,因而可用它們做示漏氣體。由于熱傳導(dǎo)真空計(jì)反應(yīng)比軿慢,就是反映快的電離真空計(jì),由于示漏氣體在真空系統(tǒng)內(nèi)建立分壓需要一定時(shí)間,巡回噴吹的速度都不能太快,而且還要判斷是壓力的變化還是真空計(jì)本身的漂移。檢漏過程中,只有示漏氣體離開后,真空計(jì)能恢復(fù)到原來的狀態(tài),改位置才是真正的漏孔。
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