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高溫管式爐通氫氣還原系統(tǒng)操作流程
作者:河南鴻爐 來(lái)源：原創(chuàng) 發(fā)表時(shí)間：2020-04-20 09:28:26
高溫管式電阻爐在高校實(shí)驗(yàn)、科研機(jī)構(gòu)和工礦企業(yè)應(yīng)用比較廣泛，它可以預(yù)抽真空，根據(jù)工藝需求通入不同的氣體進(jìn)行實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)，主要應(yīng)用于陶瓷、冶金、電子、玻璃、化工、機(jī)械、耐火材料、特種材料、建材、高校、科研院所、工礦企業(yè)做粉末焙燒、陶瓷燒結(jié)、高溫實(shí)驗(yàn)、材料處理、質(zhì)高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火等 。下面簡(jiǎn)單介紹一下使用高溫管式爐通氫氣時(shí)的操作流程：
第一步：放置物料
1、使用六角扳手拆掉左側(cè)法蘭（帶真空表的一側(cè)）；
2、依次將右側(cè)爐塞、物料盤、左側(cè)爐塞放入石英管內(nèi)的相應(yīng)位置；
3、將左側(cè)法蘭復(fù)裝（復(fù)裝時(shí)注意法蘭不要直接頂住石英管）。
第二步：抽真空
1、將整個(gè)系統(tǒng)（包括流量計(jì)、管式爐、真空泵、點(diǎn)火裝置4個(gè)部分，下同）上的所有閥門全部關(guān)閉；
2、確認(rèn)真空泵油位后，接通電源，啟動(dòng)真空泵；
3、緩慢打開擋板閥（切忌快速打開，否則會(huì)造成物料盤、爐塞滑動(dòng)損壞石英管）；
4、待左側(cè)法蘭上的壓力表指針至-0.1MPa時(shí)，先關(guān)閉擋板閥，再關(guān)閉真空泵；
5、反復(fù)操作2-3遍上述過(guò)程，進(jìn)一步排除管內(nèi)殘留空氣。
第三步：通氣氛
1、先打開實(shí)驗(yàn)室的門窗和通風(fēng)櫥風(fēng)機(jī)；
2、依次打開氫氣和氮?dú)鈿馄靠傞y、減壓閥、流量計(jì)氫氣和氮?dú)膺M(jìn)氣閥、混氣出氣閥、石英管左側(cè)法蘭上的進(jìn)氣閥；
3、旋轉(zhuǎn)2個(gè)浮子流量計(jì)下方的旋鈕，調(diào)整合適的進(jìn)氣量，向石英管內(nèi)充氣；
4、待左側(cè)法蘭上的壓力表指針超過(guò)0成為微正壓時(shí)，接通點(diǎn)火裝置的電源并啟動(dòng)；
5、打開右側(cè)法蘭上的出氣閥，觀察點(diǎn)火裝置工作情況；
6、再次檢查和調(diào)整流量計(jì)的進(jìn)氣量。
第四步：升溫
1、接通高溫管式爐的電源，設(shè)置好升溫曲線；
2、按下右側(cè)綠色按鈕，然后按住溫控表上的run按鈕3秒，開始升溫；
3、升溫結(jié)束后，待爐溫降至室溫后，方可打開爐門，并進(jìn)行下一步操作。
第五步：關(guān)閉系統(tǒng)
1、依次關(guān)閉氫氣氣瓶總閥、減壓閥，使氮?dú)饫^續(xù)通氣15分鐘以上；
2、依次關(guān)閉氮?dú)鈿馄靠傞y、減壓閥、流量計(jì)氫氣和氮?dú)膺M(jìn)氣閥、流量計(jì)、混氣出氣閥、石英管左側(cè)法蘭上的進(jìn)氣閥、右側(cè)法蘭上的出氣閥，再關(guān)閉點(diǎn)火裝置；
3、拆掉左側(cè)法蘭，取出物料，再將左側(cè)法蘭復(fù)裝。
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