氣相化學(xué)沉積系統(tǒng)（CVD管式爐）是利用氣態(tài)化合物或化合物的混合物在基體受熱面上發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而在基體表面上生成不揮發(fā)涂層的一種薄膜材料制備系統(tǒng)，它由真空管式爐，多通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、碳納米管生長、石墨烯材料制備、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實驗。9Td高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
   此款CVD管式爐有兩個溫區(qū)，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和智能化程序控溫系統(tǒng)，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶體纖維材料，雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，具有真空裝置，可以通氣氛抽真空，真空泵可以根據(jù)客戶要求的真空度選配，該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點。9Td高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
主要功能和特點：9Td高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
1、爐膛采用日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)氧化鋁多晶纖維無機材料，保溫性能好，耐用，拉伸強度高，無雜球，純度高，節(jié)能效果明顯優(yōu)于其它國內(nèi)纖維材料；9Td高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
2、加熱元件采用合金電阻絲，最高發(fā)熱溫度可達1200℃；9Td高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
3、升溫速度推薦≤10℃/min，最快升溫速度20℃/min9Td高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
4、超溫報警斷電功能及漏電保護措施，操作安全可靠。9Td高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
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