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分子泵主要應(yīng)用于真空爐,CVD設(shè)備和PECVD設(shè)備的抽真空,它的抽氣機理與機械泵靠泵腔容積變化進行抽氣的機理不同,利用了動量傳遞遠離,使分子定向流動而被排出泵外,從而達到抽氣的目的。
分子泵在使用中應(yīng)注意以下事項:
1、分子泵不能在前級泵工作時(前級管道接通)和真空室處于真空狀態(tài)時將渦輪分子泵停掉,否則將會使油蒸氣迅速從前級管路返流到泵內(nèi);
2、分子泵系統(tǒng)充干燥氣體前,一定要先將分子泵冷卻水關(guān)閉,且要從泵的高真空端充氣,絕不能從泵的前級管路進行充氣;
3、分子泵工作時嚴禁大氣量氣體進入泵內(nèi),否則會導(dǎo)致分子泵損壞;
4、分子泵是高速旋轉(zhuǎn)的精密設(shè)備,抗振動或沖擊能力較弱,因此應(yīng)避免與振動或沖擊強烈設(shè)備接觸;
5、不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉(zhuǎn)速下運轉(zhuǎn);
6、分子泵入口應(yīng)裝設(shè)防護網(wǎng),以避免異物進入泵內(nèi)損壞泵轉(zhuǎn)子和定子葉片;
7、分子泵不宜長時間保持真空狀態(tài),防止前級泵油反擴散到分子泵內(nèi);
8、分子泵停止后,應(yīng)關(guān)閉冷卻水,以防止在泵內(nèi)形成冷凝水。
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