分子泵主要應(yīng)用于真空爐，CVD設(shè)備和PECVD設(shè)備的抽真空，它的抽氣機理與機械泵靠泵腔容積變化進行抽氣的機理不同，利用了動量傳遞遠離，使分子定向流動而被排出泵外，從而達到抽氣的目的。KNt高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
分子泵在使用中應(yīng)注意以下事項：KNt高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
1、分子泵不能在前級泵工作時（前級管道接通）和真空室處于真空狀態(tài)時將渦輪分子泵停掉，否則將會使油蒸氣迅速從前級管路返流到泵內(nèi)；KNt高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
2、分子泵系統(tǒng)充干燥氣體前，一定要先將分子泵冷卻水關(guān)閉，且要從泵的高真空端充氣，絕不能從泵的前級管路進行充氣；KNt高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
3、分子泵工作時嚴禁大氣量氣體進入泵內(nèi)，否則會導(dǎo)致分子泵損壞；KNt高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
4、分子泵是高速旋轉(zhuǎn)的精密設(shè)備，抗振動或沖擊能力較弱，因此應(yīng)避免與振動或沖擊強烈設(shè)備接觸；KNt高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
5、不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉(zhuǎn)速下運轉(zhuǎn)；KNt高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
6、分子泵入口應(yīng)裝設(shè)防護網(wǎng)，以避免異物進入泵內(nèi)損壞泵轉(zhuǎn)子和定子葉片；KNt高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
7、分子泵不宜長時間保持真空狀態(tài)，防止前級泵油反擴散到分子泵內(nèi)；KNt高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
8、分子泵停止后，應(yīng)關(guān)閉冷卻水，以防止在泵內(nèi)形成冷凝水。KNt高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司