立式管式爐爐體垂直安裝在支撐架上，開啟式爐體結(jié)構(gòu)方便取放爐管，采用獨(dú)特的設(shè)計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)在真空或氣氛保護(hù)條件下對(duì)樣品快速升降溫，此款管式爐可以四面加熱，溫場更加均勻，立式結(jié)構(gòu)使得氣體排放更加順暢，配合真空系統(tǒng)和氣路系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)立式CVD工藝，可以預(yù)抽真空并能通氫氣、氬氣、氮?dú)?、氧氣、一氧化碳、氨分解氣等氣體。立式管式爐主要適用于碳納米管的研制，晶體硅基板鍍膜，金屬材料擴(kuò)散焊接以及真空或氣氛下的熱處理、薄膜生長、電極測試、氧化物晶體生長、快速退火等實(shí)驗(yàn)。USL高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
主要特點(diǎn)：USL高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
1、開啟式結(jié)構(gòu)，方便取放爐管；USL高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
2、預(yù)留了真空、氣路快速接口，可配合真空混氣系統(tǒng)使用；USL高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
3、加熱元件圓周式布置，加熱更加均勻；USL高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
4、可通過浮子流量計(jì)或質(zhì)子流量計(jì)控制氣體的流速；USL高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
5、超溫報(bào)警井?dāng)嚯娬{(diào)電保護(hù)，操作安全可靠。USL高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
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