真空熱處理爐從大氣狀態(tài)抽到工作真空度，真空系統(tǒng)的操作要分為4大步驟：uFI高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
1、羅茨泵啟動，打開前級閥，關(guān)閉主閥和預(yù)抽閥，用按鈕啟動機(jī)械泵，當(dāng)?shù)驼婵找?guī)管測量的真空度高于羅茨泵入口真空度時，比如小于2kPa,啟動羅茨泵；uFI高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
2、預(yù)熱擴(kuò)散泵，主閥和預(yù)抽閥仍處于關(guān)閉狀態(tài)，前級泵機(jī)組對擴(kuò)散泵抽真空，當(dāng)?shù)驼婵找?guī)管測量擴(kuò)散泵前級真空度高于規(guī)定值時，比如小于7Pa,啟動擴(kuò)散泵加熱器；uFI高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
3、預(yù)抽爐內(nèi)真空，先關(guān)前級閥，并停羅茨泵，稍后找開預(yù)抽閥對爐內(nèi)抽真空。爐內(nèi)真空度抽到高于羅茨泵入口真空度時，再啟動羅茨泵，前級泵機(jī)組對爐內(nèi)抽氣，使之達(dá)到預(yù)抽真空度；uFI高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
1）預(yù)抽真空期間要觀察擴(kuò)散泵真空度，如果擴(kuò)散泵前級真空度低于規(guī)定值，就關(guān)閉預(yù)抽閥，稍后打開前級閥，再抽前級真空；uFI高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
2）當(dāng)擴(kuò)散泵前級真空度高于規(guī)定值時，關(guān)閉前級閥，稍后打開預(yù)抽閥，繼續(xù)對爐內(nèi)預(yù)抽真空；uFI高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
3）如果爐內(nèi)真空度低于羅茨泵入口真空度，要停止羅茨泵，直到爐內(nèi)真空度高于羅茨泵入口真空度后，再啟動羅茨泵；uFI高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
4）當(dāng)?shù)驼婵找?guī)管測得的爐內(nèi)真空度達(dá)到預(yù)抽真空度，而擴(kuò)散泵的加熱時間沒到，則打開前級閥，同時對爐內(nèi)和擴(kuò)散泵抽真空，等待擴(kuò)散泵預(yù)熱時間到；uFI高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
4、抽高真空，爐內(nèi)真空度達(dá)到或高于規(guī)定值，且擴(kuò)散泵加熱時間到，先關(guān)預(yù)抽閥，然后開高真空閥，對爐內(nèi)抽高真空，直到高真空規(guī)管測得的爐內(nèi)真空度達(dá)到或高于工作真空度，才進(jìn)行下一步操作。uFI高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司
真空系統(tǒng)的關(guān)閉步驟相對于比較簡單，當(dāng)真空爐溫度減低到可關(guān)真空系統(tǒng)的要求時，關(guān)閉主閥，接著關(guān)閉擴(kuò)散泵加熱器，但前級閥不能關(guān)閉，前級泵機(jī)組仍然工作，直到擴(kuò)散泵加熱器冷卻時間到，才依次關(guān)閉前級閥和前級泵機(jī)組。uFI高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司